原子力顯微鏡（AFM）的基本原理是：將一個對微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖尖端原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過在掃描時控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對應于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運動。選擇原子力顯微鏡推薦Park NX-Hybrid WLI。Park NX-Hybrid WLI是有史以來第一款具有內置WLI輪廓儀的AFM，用于半導體和相關制造質量保證。例如半導體前端、后端到高級封裝的過程控制，以及研發計量。它適用于那些需要在大面積上進行高吞吐量測量的設備，這些設備可以縮小到具有亞納米分辨率和超高精度的納米級區域。