激發光源
作用:提供使試樣中被測元素蒸發解離、原子化和激發所需要的能量。
對激發光源的要求:必須具有足夠的蒸發、原子化和激發能力；靈敏度高、穩定性好、光譜背景小；結構簡單、操作方便、使用安全。
常用的激發光源的類型：
（一）直流電弧
（二）交流電弧
（三）電火花
（四）電感耦合等離子體(ICP)（Inductively coupled plasma）
重要術語的意義:
擊穿電壓：使電極間擊穿而發生自持放 電的最小電壓。
自持放電：電極間的氣體被擊穿后，即使沒有外界的電離作用，仍能繼續保持電離，使放電持續。
燃燒電壓：自持放電發生后，為了維持放電所必需的電壓。
共振線、靈敏線、最后線及分析線:
由激發態直接躍遷至基態所輻射的譜線稱為共振線。
由較低級的激發態（第一激發態）直接躍遷至基態的譜線稱為第一共振線，一般也是元素的最靈敏線。
當該元素在被測物質里降低到一定含量時，出現的最后一條譜線，這是最后線，也是最靈敏線。用來測量該元素的譜線稱分析線。