原子發射光譜法，是利用物質在熱激發或電激發下，每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，而進行元素的定性與定量分析的。原子發射光譜法可對約70種元素（金屬元素及磷、硅、砷、碳、硼等非金屬元素）進行分析。在一般情況下，用于1%以下含量的組份測定，檢出限可達ppm，精密度為±10%左右，線性范圍約2個數量級。這種方法可有效地用于測量高、中、低含量的元素。
