常用無火焰原子化器包括石墨爐原子化器和氫化物原子化器。
石墨爐原子化法是利用低壓、大電流來使石墨管升溫，最高溫度可升至3000℃，這一升溫過程可使石墨管中的試樣完成干燥、灰化、原子化和凈化等測定。
干燥：去除溶劑，防止樣品濺射。
灰化：使基體和有機物盡量揮發出去。
原子化：待測化合物分解為基態原子,此時停止通Ar氣,延長原子停留時間,提高靈敏度度。。
凈化：樣品測定完成，高溫去殘渣，凈化石墨管。
石墨爐原子化器與火焰原子化器比較
1.原子化效率高，可達到90%以上，而火焰法僅只有10%多一點。
2.絕對靈敏度高（可達到10-12～10-14),試樣用量少，適合于低含量及痕量組份的測定。
3.溫度高，在惰性氣氛中進行且有還原性碳的存在，有利于易形成難離解氧化物元素的離解和原子化。