化學干擾是指待測元素在分析過程中與干擾元素發生化學反應，生成了更穩定的化合物，從而降低了待測元素化合物的解離及原子化效果，使測定結果偏低。這種干擾具有選擇性，它對試樣中各種元素的影響各不相同。化學干擾的機理很復雜，
消除或抑制其化學干擾應該根據具體情況采取以下具體措置措施：
1、加入干擾抑制劑
(1) 加入稀釋劑 加入釋放劑與干擾元素生成更穩定或更難揮發的化合物，從而使被測定元素從含有干擾元素的化合物中釋放出來。
(2) 加入保護劑 保護劑多數是有機絡合物。它與被測定元素或干擾元素形成穩定的絡合物，避免待測定元素與干擾元素生成難揮發化合物。
(3) 加入緩沖劑 有的干擾，當干擾物質達到一定濃度時，干擾趨于穩定，這樣，把被測溶液和標準溶液加入同樣量的干擾物質時，干擾物質對測定就不會發生影響。
2、選擇合適的原子化條件
提高原子化溫度，化學干擾一般會減小，使用高溫火焰或提高石墨爐原子化溫度，可使難解離的化合物分解。
3、加入基體改進劑
用石墨爐原子化時，在試樣中加入基體改進劑，使其在干燥或灰化階段與試樣發生化學變化，其結果可能增強基體的揮發性或改變被測元素的揮發性，使待測元素的信號區別于背景信號。
當以上方法都未能消除化學干擾時，可采用化學分離的方法，如溶劑萃取、離子交換、沉淀分離等方法。