原子熒光光譜法（AFS）是介于原子發射光譜（AES）和原子吸收光譜（AAS）之間的光譜分析技術。它的基本原理是基態原子（一般蒸汽狀態）吸收合適的特定頻率的輻射而被激發至高能態，而后激發過程中以光輻射的形式發射出特征波長的熒光。
組成：蒸氣發生系統、原子化系統、光學系統、氣路系統、電路系統
用途：原子熒光光譜法( AFS) 因化學蒸氣分離、非色散光學系統等特性，是測定微量砷、銻、鉍、汞、硒、碲、鍺等元素最成功的分析方法之一；原子熒光光譜分析法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性范圍寬，能進行多元素同時測定。這些優點使得它在冶金、地質、石油、農業、生物醫學、地球化學、材料科學、環境科學等各個領域內獲得了相當廣泛的應用。