曾作為原子熒光原子化器的等離子體有電感耦合等離子體 （inductively coupled plasma， ICP）、微波誘導等離子體（micro-wave induced plasma， MIP）和微波等離子體炬（microwave plas-ma touch， MPT）。下面簡要地介紹一下這三種等離子體作為原子熒光原子化器的優缺點。
電感耦合等離子體（ICP）原子化器由射頻電源和等離子體炬管兩部分組成，其中的射頻電源頻率一般用27.120MHz 或 40. 68MHz，功率在0. 6?1.5kW 之間。炬管由三支同心石英管組 成（如下圖所示），分別進三路氣體：冷卻氣、輔助氣和載氣。
冷卻氣在石英外管和中間管之間，通10~20L/min 的氯氣， 其作用是作為工作氣體形成等離子體并冷卻石英炬管；中間管和中心管（內管）之間通入0. 5~1.5L/min 的氯氣，稱為輔助氣，用以輔助等離子體的形成；內管用于導入試樣氣溶膠。石英炬管外套有高頻感應圈，感應圈一般為2?4圈空心銅管。
1981年，Demers 等首次研制成功了以空心陰極燈作激發光源、以 ICP 作原子化器的原子熒光光譜儀（HCL-ICP-AFS）。 用 ICP 作為原子熒光的原子化器具有下列優點：
①由于 ICP 原子化器溫度很高（大于3000K），因此大大減少了化學干擾、電離干擾及散射干擾，且可以將一些難熔的金屬氧化物原子化；
②ICP 具有很強的激發能力，其發射的譜線中含有豐富的原子線和離子線可供測量選擇；
③在氧氣氣氛中的 ICP 原子化器具有較高的熒光量子效率， 提高了測量靈敏度，降低了檢出限；
④ICP 在時間和空間上都具有很高的穩定性，因此具有較好的測量精度；
⑤用 ICP 作原子化器的原子熒其線性動態范圍可達4?6個 量級。