1、 使用原子熒光光譜儀進行檢測，有較低的檢出限，靈敏度高。特別是對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0.001ng/cm3、Zn為0.04ng/cm3。現已有20多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
2、 干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光光譜儀。這種儀器結構簡單，價格相對便宜。
3、 譜線簡單，分析校正曲線線性范圍寬，可達3~5個數量級，特別是用激光做激發光源時更佳。
4、 由于原子熒光是向空間各個方向發射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現多元素同時測定。
這些優點使得原子熒光光度計在冶金、地質、石油、農行、地球化學、材料科學、環境科學、高純物質、水質監控、生物制品和醫學分析等各個領域內獲得了相當廣泛的應用。