原子熒光的原理是原子蒸汽受具有特征波長的光源照射后，其中一些自由原子被激 發躍遷到較高能態，然后去活化回到某一較低能態而發射出特征光譜的物理現象。各種元素都有其特定的原子熒光光譜，根據原子熒光強度的高低可測得試樣中待測元素含量。原子熒光分光光度計可應用于食品衛生檢驗、環境樣品檢測、城市給排水檢驗、農產品檢驗、地質冶金檢測、化妝品檢驗、紡織纖維樣品檢測、教學研究、臨床醫學樣品檢驗、藥品檢驗、土壤飼料肥料檢驗等。
原子熒光和原子吸收的區別：
1、光路不同：原子吸收光源、原子化器和檢測器在一條光路上；原子熒光為垂直光路。
2、原理不同：原子吸收利用原子的特征吸收光譜；原子熒光則利用原子的激發-躍遷光譜（熒光）。
3、靈敏度不同：對于原子吸收，增加光源強度同時會增加背景吸收，而原子熒光信號強度與激發光源強度成正比，故靈敏度可以極大提高。