合肥研究院承擔的國家科技重大專項課題通過驗收

　　3月12日至14日，中國科學院合肥物質科學研究院安徽光學精密機械研究所承擔的課題“雙腔同步全固化激光電源及輸出能量穩定系統研究”通過了國家科技重大專項實施管理辦公室的驗收。該課題成功為MOPA結構的準分子激光器提供低抖動全固化的高脈沖快放電電源，并實現了通過反饋控制系統實現激光輸出能量穩定。該課題的成功驗收為光刻機的零部件國產化打下基礎，具有重大的直接經濟效益和社會效益。

　　“雙腔同步全固化激光電源及輸出能量穩定系統研究”是國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”(02重大專項)的子課題之一。該課題研究突破的全固態脈沖激勵技術、 MOPA結構電源同步控制技術和能量穩定控制技術等，是曝光光源的核心關鍵技術，這些技術的掌握有利于我國光刻機研制取得突破，以及獲得相關半導體制造設備的自主知識產權。課題組多次參與項目總體單位光電研究院組織的整機聯機試驗，與并行課題相互支撐驗證、銜接良好，研制的電源系統與激光放電腔、線寬壓窄模塊、光學器件等光源系統部件聯合集成完成20W 4kHz ArF曝光光源系統，整機測試總體達到了技術指標，電源系統測試也達到了任務書要求指標。

　　值得注意的是，光刻機是生產大規模集成電路的核心設備，制造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，世界上只有少數廠家掌握。因此光刻機價格昂貴，通常在 3000至5000萬美元(據維基百科)。曝光光源作為光刻機的核心部件，在半導體裝備研制中起著重要作用，因此，該課題的驗收具有直接的經濟效益和社會效益。

　　同時，作為滾動支持，02重大專項2013年1月正式啟動二期項目“40W 4kHz ArF曝光光源產品開發”，合肥研究院安光所繼續承擔了二期課題“高重頻脈沖泵浦電源的研發”。