“同位素地質學專用TOFSIMS科學儀器”開發專項獲新進展

　　2015年1月27日，國土資源部科技與國際合作司組織有關專家在北京對中國地調局地科院地質所牽頭，中國科學院大連化學物理研究所、吉林大學和中國地調局地科院資源所所等單位參加的“國家重大科學儀器設備開發專項”項目《同位素地質學專用TOF-SIMS科學儀器》（編號：2011YQ050069）進行了2014年度工作檢查。

與會專家聽取項目組工作進展匯報

項目組向與會專家現場演示完成總裝配后正在初步調試中的TOF-SIMS-REE儀器

　　2014年，項目組按時完成了規定的階段性計劃，共取得新裝置8套、核心部件6個；申請ZL9項，獲ZL授權4項；發表論文16篇。所取得的進展和技術突破情況如下：

　　1.本年度進行了TOF-SIMS-REE整機的裝配和調試工作。完成了TOF-SIMS主腔體的實物加工和組件安裝以及樣品圖像觀察系統的安裝和調試。一次離子源可正常工作，束斑直徑達到15-20μm，氧離子（O-）流強度達到18nA，離子流脈沖寬度達10ns；二次離子質譜測試金元素（Au）的分辨率可達到6000。

　　2.實現了一次離子在樣品表面聚焦及離子束脈沖化轟擊樣品，并檢測到二次離子信號。

任務一現場展示TOF-SIMS-REE儀器的總裝配工作情況

任務二現場演示一次離子源和離子光學系統的性能

　　3.完成多種靶材的納秒激光濺射產物的飛秒后電離實驗。在優化條件下飛秒后電離技術可使測試信號提高數十倍。

任務三匯報飛秒激光后電離系統的研發和測試情況

　　4.優化了質量分析器的安裝精度，增加了用于高能發散條件離子聚焦與激光中性后電離研究的激光濺射電離/換樣腔室。設計出一套多次反射質量分析器；搭建了一套用于離子冷卻聚焦技術研究的四極桿傳輸系統。

任務四現場演示飛行時間質量分析器目前所達到的性能指標

　　5.對超高真空三維樣品臺和樣品傳送系統進行加工及安裝調試，實測數據達到設計指標。

任務五現場演示與TOF-SIMS儀器主機集成后的超高真空三維樣品臺和樣品傳送系統的性能

任務五在未封裝的超高真空三維樣品臺和樣品傳送系統測試平臺上現場測試性能指標

　　6.開發了離子束、電極控制單元及TDC數據采集單元，并進行了各單元的實驗測試。

　　7.完善了系統控制軟件總體設計和結構優化，細化了接口協議，引入了面向對象的程序設計，編制了儀器控制類庫，對各控制子程序進行了重寫。完成了高壓、偏轉電壓、一次離子檢測、樣品臺、智能真空等控制模塊的開發；并完成了氧同位素測試數據處理軟件V1.0版的開發。

任務六和任務七現場演示TOF-SIMS儀器測控系統、控制軟件和數據處理軟件

應用任務負責人匯報儀器應用開發工作計劃

　　2015年項目進入攻堅階段，項目組將繼續做好兩臺TOF-SIMS儀器的總裝配和總調試工作，根據總裝、總調的情況對儀器的部分設計和加工進行優化，使其達到項目任務書中規定的技術指標要求；做好重大儀器專項的應用開發工作，在新研發的TOF-SIMS儀器上建立宇宙樣品的氧同位素和稀土元素分析方法和金屬礦床的硫等穩定同位素微區原位分析方法，促進研發成果的實用化及推廣應用。

　　項目監理組、總體組、技術專家組、用戶委員會和項目組成員40余人參加了此次會議。