高真空系統
高真空系統對于質譜儀來說至關重要，如果達不到高真空度，儀器將無法正常運作。
TQMS采用兩級抽氣結構，前級為機械泵，后級為分子渦輪泵。工作時先由前級泵將真空腔內的壓強降低幾個數量級，再由后級泵降至工作所需壓強。
日常維護時要對機械泵的濾網與泵油進行定期觀察與更換，泵的油面宜在2／3處，泵長期運行時每周需擰開灰色振氣旋鈕(5—6圈)進行30rain振氣，使油內的雜物排出，然后再擰緊該旋鈕。
如果用APCI，每天工作結束后應按上述方法對機械泵實施振氣。泵油的更換通常是連續使用3000h更換一次，但如果發現油的顏色變深或液面下降至1／2以下，需及時更換。
質譜的機械泵專用Ultragrade19或InlandQ45(Edwards45)油，更換時可先加入少許抽真空20min，然后卸真空再徹底倒凈后新加入至最大刻度或附近。另外，控制室溫在15—28℃對真空泵也十分重要，溫度過高會造成泵油的外溢。