國產高端場發射槍掃描電鏡產品首次亮相高交會

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11月15日，第二十五屆中國國際高新技術成果交易會（以下簡稱高交會）在深圳開幕。記者在中國科學院專館看到，作為尖端科學儀器和真空技術領軍者——北京中科科儀股份有限公司攜其全資子公司科儀光電帶來了具有自主知識產權的場發射槍掃描電子顯微鏡產品KYKY-EM8100。據悉，這是該產品首次在高交會亮相。

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國產高端場發射槍掃描電鏡產品引人關注。朱漢斌 攝

場發射槍掃描電鏡是納米技術、生物技術、醫學、化學、物理學研究的重要工具，在半導體集成電路加工、微機電系統、微型傳感器等信息技術支撐領域和環境保護領域也發揮著重要作用；同時，場發射槍掃描電鏡在蟲害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、產品質量鑒定等方面也有廣泛的應用，對于我國的基礎科學研究、生產工藝控制、各分類學科的研究有著不可替代的重要地位。

記者獲悉，2013年，由北京中科科儀股份有限公司牽頭，聯合北京大學、中國科學院微電子研究所、中國科學院生物物理研究所、國家環境分析測試中心、清華大學等單位，承擔國家重大科學儀器設備開發專項“場發射槍掃描電子顯微鏡開發和應用”，并于2017年推出國產高端場發射槍掃描電子顯微鏡產品KYKY-EM8100，解決了高分辨率電子光學成像系統、系統集成調試等關鍵技術。

KYKY-EM8100場發射槍掃描電鏡的技術優勢主要有方面：一是自主設計制造了低像差物鏡；二是，突破了電子束鏡筒加速技術；三是自主研制了電子光學智能化控制系統，實現了自動燈絲加熱、自動偏壓、自動孔徑角、自動聚焦、自動亮度/對比度等電子光學智能化控制功能，還實現了圖像增強、圖像銳化、樣品尺寸測量、形貌擬合、顆粒度分析等功能，大大提升了產品的功能性與使用便捷性，助力打好科技儀器設備國產化攻堅戰。