基本參數法是XRF定量分析的有效算法，其將X射線熒光物理學明確的原理基本參數和數學模型化，在沒有或少標準樣品的情況下實現對未知樣品的定量分析，通常的XRF僅考慮了譜線分數、熒光產額以及部分探測器效應，而對于入射射線的強度分布、譜線重疊、背景扣除等考慮不足，因此達不到精確定量分析的目的。
快速基本參數法（Fast FP)從X射線入射譜、X射線與物質相互作用、探測器各種效應等完全建立物理學明確的數學模型，通過大量運算，反復迭代采集譜與計算譜，達到對未知樣品精確定量分析的目的。
通常的XRF采用影響系數法進行定量分析，由于元素之間的吸收增強效應以及基體效應，因此給定量分析帶來困難，在分析的目標樣品元素種類多且含量范圍寬的情況下，對標準樣品依賴和選擇變得十分困難，也就是要打破元素含量的相關性，采用大量標準樣品取得元素間的影響系數，在缺少標準樣品的情況下，幾乎不可能，或者帶來定量結果的偏差。