1922年，L.N.布里淵在理論上預言了衍射；1932年P。J。W。德拜和F。W。席爾斯以及R。盧卡斯和P。比夸特分別觀察到了衍射現象。
從1966年到1976年期間，衍射理論、新材料及高性能器件的設計和制造工藝都得到迅速發展。
1970年，實現了表面波對導光波的衍射，并研制成功表面（或薄膜）器件。
1976年后，隨著技術的發展，信號處理已成為光信號處理的一個分支。
