外差干涉儀的突出優點是：
①由于物體變化所產生的多普勒頻移信息是載于穩定的差頻上，且其頻率較高（幾兆至100兆赫）,因此，光電探測時避過了激光器的低頻噪聲和半導體器件的1/f噪聲區；又利用頻率跟蹤等外差解調技術大量濾除了寬帶噪聲，因此提高了光電信號的信噪比。例如零差干涉測長儀中，當測量光束受外界干擾光強衰減50%時，就不易正常工作，而外差干涉測長儀則可在光強衰減90%時仍能正常工作，因此能用于生產現場，并能測量較長距離（大于60米）。
②可以直接從輸出頻率相對于差頻的增減判別運動的方向，因此可以測量物體的連續變化過程如隨機振動波形，氣流擾動隨時間變化過程，而零差干涉儀較難實現。