技術指標
電子槍蒸發源：一把成都金雅客公司電子槍，6孔坩堝，每孔40cc容量，電子槍位于真空室下部；電子槍冷卻水流量監測，互鎖保護，自帶自動預熔功能、實現膜厚儀自動控制電子槍鍍膜，操作更方便。 電阻蒸發：2組蒸發電極，兼容蒸發舟、螺旋蒸發絲，帶有自動檔板。1臺以色列產TDK蒸發電源功率：1.44KW,切換2組源蒸發。 有機蒸發源：6組有機蒸發源，配套6組坩堝。 6臺有機蒸發電源，配備實時顯示坩堝溫度。 工件架（自轉 水冷）：設備配有自轉電動工件盤，一次性放置最大不超過150*150mm樣品一片。配有單轉軸空心磁流體密封，樣品臺水冷。高扭矩電機和控制器，轉速0~30RPM可調。