| 儀器名稱： | 大功率探針臺-MPI TS2000HP |
| 儀器編號： | 22013848 |
| 產地： | 中國臺灣 |
| 生產廠家： | MPI CORPORATION |
| 型號： | TS2000-HP |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2022-08-12 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>高精尖 |
| 放置地點： | 荷清大廈A座一層實驗室 |
| 固定電話： | 010-62799552-1168 |
| 固定手機： | 13910754014 |
| 固定email： | xugao@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 楊建濤（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 集成電路 |
| 技術指標： | 1. 測試最大電壓：10KV 2. 測試最大電流：100A 3. 測試wafer尺寸：4/6/8寸wafer及碎片 4. 測試環境：-60℃~300℃ 5. 支持測試類型： 功率半導體器件(如Power MOSFET、IGBT、SiC等)特性分析與測試； 可測量柵電荷Qg、電流崩塌等動態參數； 6. 支持器件類型：水平器件/垂直器件。 7. 安全測試以及屏蔽效果： 配備電磁屏蔽腔體，可達到fA級屏蔽； 擁有紅外安全防護光幕網。 |
| 知名用戶： | 王敬（集成電路學院） |
| 技術團隊： | 測試工作由實驗室資深的工程師或者技術人員進行操作和支援。 |
| 功能特色： | 大功率探針臺是大功率器件測試的配套設備，TS2000-HP使用時與功率器件分析儀連接，可以在變溫環境（-60℃至300℃）下實現10000V、100A的半自動晶圓級測試 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 大功率探針臺測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 500.0 |