光散射法檢測顆粒物濃度利用了顆粒物的相關性質和Mie 散射理論。當光照射到懸浮在空氣中的顆粒物上時，會產生散射光。在顆粒物性質保持一定的前提下，產生的散射光強度與顆粒物的質量濃度成正比。通過光電倍增管將顆粒物的散射光轉換成光電流，再經光電流積分電路將光電流轉換成電脈沖，通過測量單位時間的脈沖數，就可以計算得到顆粒物的濃度。光散射法測量顆粒物質量濃度具有測量快速、準確，檢測靈敏度高，性能穩定等優點。但測量結果易受細顆粒物粒徑組成、結構、折射性等因素影響。
