樣品臺的升降系統的主要指標包括升降范圍或稱為行程范圍以及精度。行程范圍與精度通常是一個反相關函數。行程越大,螺距越大,控制精度也越差。而在表面張力儀的應用于,位移的精度的重要性優于行程范圍。具體來說,在表面張力儀中,0.1um精度的系統優于1um的精度的升降系統。而100mm行程范圍的1um精度的系統比50mm行程范圍的0.1um的升降系統差。更大的行程范圍通常會導致移動時間非常長,因而,對升降系統的速度的要求也會有相應的提高。但是,表面張力測試時,速度更慢優于速度快,移動速度0.1mm/s優于1mm/s。所以,控制精度更高、螺距更小的升降系統是關鍵考慮指標,而非移動范圍或行程范圍或zui快的移動速度。在寫指標要求時,應該明確螺距和控制精度的要求,而無需把移動范圍和速度等作為主要指標或重點考慮指標。
例如:如下表格中,后兩者均是優于前兩個指標項的。
指標1 | 指標2 | 指標3 A60、A101plus | 指標4 A801 | |
移動范圍 | 110 | 70mm | 50 | 100 |
分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.007um | 0.01um |
控制精度 | 1um | 5um | ||
螺距 | 0.5mm | 1mm |