原子在火焰或等離子體的蒸氣相中電離而產生的干擾。它使火焰中分析元素的中性原子數減少，因而降低分析信號。
在標準和分析試樣中加入過量的易電離元素，使火焰或等離子體中的自由電子濃度穩定在相當高的水平上，從而抑制或消除分析元素的電離。
此外，由于溫度愈高，電離度愈大，因此，降低溫度也可減少電感耦合等離子體發射光譜儀的電離干擾。
