濾芯維護
超純水機內使用的濾芯需要定時清理并且也需要定時進行更換，不論是國內的超純水機還是國外的進口設備，都是需要更換濾芯以維持正常使用，濾芯會對進入純水機的原水進行過濾，那么在這個過程中，原水中的各種不能通過濾芯的物質都會被吸附在其中，時間一旦久了，在濾芯上就會有更多的細菌繁殖，這時候的濾芯不但不能對原水進行很好的過濾，而且還會造成更大的污染，所以定期更換濾芯是非常有必要的。
純化柱維護
純化柱的作用是對反滲透的水進行深度脫鹽，最終使得水質達到一級水或超純水水平，在這個過程中，樹脂陰陽離子會隨著脫鹽次數的不斷增加，使得效果會越變越差，最直接的反應就是在出水水質的電導率上，一旦電導率數值不能達到所要求的數值，就可以考慮進行更換純化柱。
反滲透膜維護
反滲透膜是非常重要的純水機配件，孔徑屬于納米級，對于許多的高價離子、膠體、細菌及分子量大于300Dalton的有機物質去除率高達99%以上，對于低價離子的去除率能達到95%以上，但是在這個過程中常常會有細菌等微觀物質附著在表面，高端的超純水設備會有自動沖洗功能，將附著在反滲透膜上的污染物沖洗掉，但是水質中的物質非常復雜，即使是經常的沖洗，還是不可避免的會使得膜受到損傷，從而失去較好的過濾效果。反滲透膜的壽命大約在2-3年左右，具體時間由客戶日常用水量的多少來決定，選購時需要挑選與設備匹配的膜產品。
精密濾芯維護
精細濾芯又稱過濾濾芯，分線繞濾芯和PP熔噴濾芯，精密過濾器最先需要過濾原水中的泥沙等大顆粒物質，其過濾精度分為5微米與1微米，顏色為白色，經過長時間的使用，外表面會附著上淤泥泥沙等物質，顏色會變為褐色，一般出現褐色就需要及時更換濾芯。