能量色散譜儀定量分析條件的選擇與波長色散譜儀定量分析條件的選擇相比較,相對于所用儀器來說要簡單一些,但能量色散譜儀種類繁多,如有用二次靶的,也有用偏振光的,它們各有特色,因此應在熟悉所用儀器性能的條件下,就其特性選擇最佳分析條件,以滿足分析要求。它的條件選擇主要有:提供給X射線管的管壓和管電流、譜線、濾光片的選擇和測定時間。
管壓和管電流的選擇原則與在波長色散譜儀中的不同,所用管壓通常比待測元素的激發電位高3-5keV,而在波長色散譜儀中要比激發電位大4-10倍,同時管電流一般均較小,它受能量色散譜儀所允許的最大計數率(5-30kcps)的限制。基于此視待分析素對象不僅要設置不同的管壓和管電流,還要與濾光片結合起來考慮,其原則是保證所測元素獲得最大強度。如用SPN探測器的譜儀,以Rh靶作為激發光源,分析水泥中鎂鋁、硅、硫和鉀時,選擇4kV,0.6mA,其目的是使高含量鈣不被激發,而測鈣、鈦和鐵時,擇13kV,0.1mA,并選用200m鋁作濾光片,除去X射線管發射的RhL線,以便降低鋁硅等元素的X射線熒光強度,從而提高鈣和鐵等元素的x射線熒光強度。選擇二次靶偏振光也是為了進行有選擇的激發,并降低背景。對于封閉式正比計數管為探測器的分辨率譜儀,管壓和管流選擇也是很重要的,如測定水泥原材料,用Cu靶,3m厚的濾光片,測Si,A,S時也用4kV,0.6mA,而測Ca和Fe時則用10kV,0.06mA。
譜線有K、K、L、L4和M可供選擇,通常原子序數小于42的元素用K系線,大42的元素用L系線,有時亦可選M系線。為了便于獲取待測元素的凈強度,對Si-PIN和Si(Li)探測器的譜儀,在解譜時不僅考慮待測元素,還應考慮與待測元素譜的基體中其他元素,特別是重元素L和M系線的干擾。對于低分辨率譜儀如使用封F正比計數管的譜儀,通常測定純元素譜,并以譜的半高寬左右兩側的能量作為感興趣區起點和終點。
測定時間應根據每一組所測元素的濃度和精密度的要求而定,如測水泥中鎂、鋁硫和鉀時,測定時間為300s即可,而鈣和鐵只需120s。