①由于不需要晶體及測角儀系統,檢測器的位置可以緊接樣品位置,接收幅度的立體角增大,檢測靈敏度可提高2~3個數量級。
②不存在高次衍射譜線的干擾,可以一次同時測定樣品中幾乎所有的元素,分析物件不受限制。
③能量色散X射線熒光光譜儀已發展成系列儀器,有便攜式或在線型、臺式和通用的高性能譜儀等三種類型。類型區分主要以譜儀分辨率為基準。
④儀器操作簡便,分析速度快,適合現場分析。
⑤譜儀結構緊湊,安裝、使用和維修均很方便。特別是以封閉式正比計數管為探測器的譜儀,其價格便宜、重量輕、可靠,能在惡劣環境下工作,因此廣泛用作現場或在線式譜儀。