①載氣流量：流量增大，中心部位溫度下降；
②載氣的壓力：激發溫度隨載氣壓力的降低而增加；
③頻率和輸入功率：激發溫度隨功率增大而增高，近似線性關系，在其他條件相同時，增加頻率，放電溫度降低；
④第三元素的影響：引入低電離電位的釋放劑的等離子體，電子溫度將增加。
