質譜儀常見故障的原因及解決方案見表1。
故障現象 | 可能原因 | 解決方案 |
靈敏度降低、信號不穩定或無信號 | ①參數設置不正確 | ①設置正確的質譜參數 |
②離子源噴霧效果不好或無噴霧 | ②檢查噴霧情況，確保良好的噴霧效果 | |
③離子傳輸管堵塞 | ③疏通或更換離子傳輸管 | |
④質譜傳輸透鏡系統污染 | ④清洗透鏡系統 | |
⑤氣體純度不夠 | ⑤更換足夠純度的氣體 | |
⑥漏液 | ⑥重新連接漏液部位，必要時更換墊圈等配件 | |
⑦采集卡故障 | ⑦采集卡維修或更換 | |
⑧檢測器故障 | ⑧檢測器維修或更換 | |
⑨真空不足 | ⑨檢查真空系統、真空泵運行情況 | |
⑩其他硬件故障 | ⑩視具體原因進行維修或更換 | |
儀器噪聲信號高 | ①離子源污染 | ①清洗離子源 |
②質譜透鏡污染 | ②清洗質譜透鏡系統 | |
③儀器電路板灰塵積累嚴重 | ③清理儀器電路板灰塵 | |
④儀器接地不良 | ④重新接地線 | |
⑤其他原因 | ⑤視具體原因進行檢查、維護 | |
質量軸偏移 | ①未定期進行質量校正 | ①定期校正儀器 |
②環境溫濕度變化過大 | ②保證良好的儀器運行環境 | |
機械泵出現異響或負荷過大 | ①長時間未檢查機械泵，導致機械泵缺油 | ①加入足夠的機械泵油 |
②未定期更換機械泵油，油質變差 | ②定期檢查機械泵，更換泵油 | |
③混用或使用了與機械泵型號不對應的泵油 | ③使用機械泵對應的泵油 | |
④機械泵灰塵積累嚴重 | ④及時清理積累的灰塵 | |
真空度達不到要求 | ①抽真空時間太短 | ①保證充足的抽真空時間 |
②漏氣 | ②檢查質譜真空部件是否安裝到位、O形圈是否干凈、連接是否緊固 | |
③泵運轉不正常 | ③檢查機械泵和分子泵是否在正常運行 | |
④真空計損壞 | ④更換新的真空計 |
表1 質譜儀簡單故障判斷