在TOF-ICP-MS中,根據離子飛行時間進行分離,不同于掃描型質譜根據離子質荷比進行分離。
離子從等離子體采樣后,加速至相同的動能,使特定質荷比的離子達到檢測器的時間固定。受加速過程的影響,不同質荷比的電子在自由漂移區獲得的速率不同(較輕的離子獲得速率大),因此飛行時間不同。利用離子響應強度及到達檢測器的時間可直接獲得離子質譜圖。