與其它光學分析儀器方法相比 ICP-AES 方法具有以下幾個明顯的優勢：
a 分析速度快
ICP-AES 法干擾低 時間分布穩定 線性范
圍寬 能夠一次同時讀出多種被測元素的特征光
譜 同時對多種元素進行定量和定性分析 一般一
個樣品分析 5 個元素 3 分鐘就可以完成
b 檢出限低，分析靈敏度高（可檢出ng/ml級含量）
c 分析準確度和精密度較高
ICP-AES法是各種分析方法中干擾較小的一種， 一般情況下其相對標準偏差<10% ，當分析物濃度超過100 倍檢出限時， 相對標準偏差<1%
d 測定范圍廣
可以測定幾乎所有紫外和可見光區的譜線，被測元素的范圍大， 一次可以測定幾十個元素。
e 分析動態范圍小。（工作曲線的直線范圍可達4-5個數量級）
f 基體效應小。
能夠進行定性及定量分析，能實現一次進樣多元素同時分析，分析軟件及數據處理系統便于操作，功能強大。
控制及數據處理系統：中文軟件、Windows系統界面操作、使用十分方便，大大提高了分析效率。
◇ 可編輯的分析條件和分析數據文件
◇ 可創建定量分析和定性分析必須的測量條件
◇ 可完成定量和定性分析
◇ 可處理和確定從各種分析中獲得的數據
◇ 具有控制等離子點火、滅火、波長定位等多項功能
◇ 可脫機使用軟件，隨時查看數據庫資料，修改參數