目前多數ICP光源的頻率是27 120MHz及40.68MHz，這是由分析性能和國家電波管制規范所決定的。在早期曾使用和研究過多種頻率的ICP光源：1.6MHz，3.4MHz，4.8MHz，5.4MHz，7MHz，9.2MHz，30MHz，36MHz，40MHz，50MHz。試驗表明，27~40MHz具有較好的分析性能和操作性能。下面具體說明頻率的影響。
（1）較高的頻率可降低維持放電所需的功率：5MHz時需5~6kW；9MHz即降低至3kW；21MHz一般僅用約1.5kW左右；60MHz時需0.8～1.0kW。
（2）功率降低也可節省大量工作氣體氬氣。因為冷卻氣消耗量減少了。降低功率及增加頻率有助于改善ICP光譜分析的經濟性。
（3）振蕩頻率的變化影響激發溫度和電子密度。一般認為，提高振蕩頻率將降低激發溫度和電子密度。
（4）較高頻率有助形成較寬的等離子體中心進樣通道，容易進樣。
（5）振蕩頻率的增加將降低MgII/MgI比值，亦即降低光源的穩健性，增加ICP光源對基體效應的敏感性。
（6）40MHz電源和5MHz電源相比，可明顯改進檢出限，參見表1。56MHz的檢出限比27.12MHz略好一些，但檢出限的微小差異并不明顯影響檢出能力。
表1 電源頻率對檢出限的影響
（7）56MHz電源較27MHz電源有較高的信背比。其信背比改進程度因元素及分析線而異。如在去離子水溶液中，Cu327.396nm分析線改進的倍數是8（56MHz/27MHz光源），而B 208.893nm僅1.7倍，Ni 231.604nm為3.5倍。對有機溶劑樣品（二甲苯中油樣）則有相反的效果，V 311.071nm的改進倍數為0.8。
（8）電源頻率對測量精度沒有顯著影響。27MHz和56MHz的電源測量空白溶液的相對偏差相同。