霧化器的維護實際包含安裝、拆卸、使用、清洗等環節，對于玻璃同心霧化器的安裝拆卸尤其要小心，具體的安裝拆卸動作要領可以參考圖1進行。
圖1 霧化器安裝拆卸演示
在每天使用過程中，一定要形成一個良好的習慣，分析開始檢查表觀霧化效果，發現問題及時處理；分析結束時用5-10%的硝酸來清洗5-10分鐘，再用去離子水清洗5-10分鐘，這樣便于清除樣品攜帶的沉積物或結晶滯留在霧化器內造成霧化器性能的下降，從而降低霧化器損壞的幾率。
對于玻璃或石英的同心霧化器的維護，由于其設計和制作材料的特殊性，玻璃同心霧化器的維護必須堅持三不原則：
其一，不使用高濃度HF酸浸泡（HF可以與玻璃或石英發生化學反應的）；
其二，不使用超聲波清洗（超聲可以損壞毛細管的噴嘴）；
其三，不使用金屬絲反捅（噴嘴可能被損壞）。