材料物理學家為拉制氧化鋯單晶體需要,首先設計了由三個同心石英管組成的等離子體炬管。光譜學家Gr?enfild和Fassel參照Reed的炬管分別設計了兩種用作光譜分析的炬管,通常被稱為Fassel炬管和Greenfild炬管。.它們的具體形狀見圖1。

圖1 通用ICP矩管
(a)Fassel矩管 (b)Greenfild矩管
1-外管與中間管;2-進氣溶膠;3-中心管;4-排放廢液
上述兩種炬管都成功地用于光譜分析,并有相近的檢出限,但其結構和使用條件仍有顯著差別。
(1)Fassel炬管的外管外徑為20mm,外管內徑為18mm。而Greenfild炬管直徑較大,一般為22~28mm。
(2)Fa?sel炬管中心管孔徑1.0~1.5mm,而?reenfild矩管中心管直徑為(2.0±0.1)mm。
(3)Fassel炬管運行功率為0.8~1.6kW,而Gre?nfild炬管需在較高功率下運行,一般為1.4~4.0kW。
(4)Fassel炬管用10~18L/min氬氣冷卻,而Greenfild則可用20~70L/min氮氣冷卻,輔助氣和進樣霧化器仍用氬氣。
(5)Greenfild炬管所形成的等離子體有較強的穩健性,可允許在高含量試液運行,進樣管混入空氣也不會熄滅等離子體。
Fassel炬管因其節省氣體和電能而被廣泛采用,Gr?enfild炬管只在少數ICP光譜儀上被采用。
實際應用的Fassel矩管,一種是一體化的石英矩管(見圖2),它是由透明石英管燒制而成;另一種是組合式石英矩管,它是將三支石英管插在經精密加工的基座上(見圖3)。兩種矩管均有廣泛應用,各有優缺點。前者容易裝卸,各部尺寸及相對位置均精密固定。后者在三支石英管中任一支損壞時,可單獨更換,不會報廢整個炬管。

圖3 組合式石英矩管
不論何種ICP炬管,都是由三支同心石英管組成的,也都有三個進氣管(如圖2所示),分別進三股氣流:冷卻氣、輔助氣及載氣。冷卻氣又稱為等離子體氣。載氣又稱進祥氣或霧化氣,它把試液霧化并把氣溶膠送入ICP光源。