ICP-AES儀器由以下五個部分組成（見圖1）。
圖1 ICP-AES光譜儀裝置結構
（1）高頻（RF）發生器 提供ICP光譜儀的能源。
（2）進樣系統 將溶液樣品轉換為氣溶膠，使之進入ICP火焰。它包含霧化器、霧室、炬管、等離子氣、RF發生器和進樣系統分光系統檢測系統輔助氣、載氣以及各種氣路裝置系統。
（3）分光系統 將復合光轉化為單色光裝置。
（4）檢測系統 由光電轉換裝置將分光后的單色光轉換為電流，在積分放大后,然后交計算機處理。
（5）計算機系統 完成程序控制、實時控制數據處理三部分工作，還包括操作系統、譜線圖形制作、工作曲線制作、背景定位與扣除、光譜干擾校正系數制作與儲存、基體干擾校正系數制作與儲存等各種軟件，以及內標法、標準加入法、管理樣或標準樣的插入法和稱樣校正、金屬氧化物的計算等各種類型數據處理。
當前，使用的商品化ICP光譜儀有三種類型：
第一類是由凹面光柵分光裝置和光電倍增管或固體檢測器組成的多道型ICP光譜儀。它可以同時進行多元素分析。
第二類是由平面光柵裝置和光電倍增管或固體檢測器組成的順序掃描型ICP光譜儀，它可以進行從短波段至長波段連續不間斷的譜線測定，可以得到全波段高分辨率的光譜。
第三類是由中階梯光柵雙色散系統和固體檢測器組成所謂“全譜型”ICP光讀儀。具有多道型ICP光譜儀多元素同時測定能力，又具有多譜線同時分析的靈活性。