TOF-MS原本為簡單質譜儀，離子傳輸效率高。可同時提取離子進行質譜分析，完全避免譜圖偏移情況，也使連續分析過程中一些元素的同位素比值分析精度RSD小于0.05%。因此，利用 TOF-MS分析同位素比值的精密度主要受噪聲影響，而非信號的時間漂移(掃描型質譜則主要受信號的時間漂移影響)。
ICP-TOF-MS其他主要優勢在于全質量范圍內快速采集數據(全譜采集時間小于50μs,每秒可獲得的全譜大于20000個)，幾乎同時給出所有譜峰。由于譜圖形成速率快(ICP-TOF-MS的主要優勢)且能幾乎同時檢測，使得微量及快速瞬態信號的全元素分析成為可能。即多元素近乎同時的瞬態信號分析時不影響精密度或檢出限，且與待測元素數目或瞬態信號維持時間無關。另外ICP-TOF-MS快速數據采集也使樣品測試周期比四極桿 ICPMS提高8~10倍，因此降低了長時間引入高鹽分基體(如環境及生物樣品)造成的錐孔堵塞問題，同時明顯降低分析成本。四極桿 ICP-MS的分析時間直接正比于待測同位素數目及相應駐留時間的總和，而 ICP-TOF-MS分析時間只與駐留時間及重復測試次數有關，與待測同位素數目無關，極大地節省了時間。