電感耦合等離子體質譜( inductively coupled plasma mass spectrometry, ICP-MS)是20世紀80年代發展起來的新的儀器分析技術，將電感耦合等離子體高溫電離特性及質譜儀低檢出限特性結合起來，形成一種強有力的多元素同時測定、檢出限低的痕量元素分析技術。
起初 ICP-MS主要是指普通的四極桿質譜儀( ICP-QMS)，隨著分析儀器技術的發展，逐漸擴展到其他類型的等離子質譜技術，如飛行時間質譜儀( ICP-TOF-MS)、雙聚焦扇形場質譜儀，以及等離子體離子阱質譜儀( ICP-IT-MS)等。其中四極桿質譜儀技術也不斷更新換代：如為解決四極桿質譜儀存在的多原子干擾離子，引入了低溫等離子體技術(主要針對Na、K、Ca等易電離元素)2)、碰撞/反應池技術(DRC/CRC)。另外，針對進樣系統采取的聯用技術，也使 ICP-MS應用領域擴展到形態分析、固體直接分析等方面。如與氣相色譜技術、離子色譜技術聯用進行金屬形態/價態分析；與激光燒蝕技術聯用進行固體直接分析。 ICP-MS分析應用領域也從最初的地質領域迅速發展到環境、食品、生物、醫藥、核工業、冶金等領域。 ICP-MS除進行元素分析外，在同位素比值分析、形態分析等方面的研究應用已有大量報道。