接口的功能是將等離子體中的離子有效地傳輸到質譜儀，并保持離子一致性及完整性。在質譜儀和等離子體之間存在著溫度、壓力和濃度的巨大差異，前者要求在高真空(10-5~10-9mbar)和常溫(約300K)條件下工作，后者則是在常壓(1000mbar)和高溫(約7500K)條件下工作。如何將高溫、常壓下的等離子體中的離子有效地傳輸到高真空、常溫下的質譜儀，是接口技術所要解決的難題。
目前，市面上的 ICP-MS多采用雙錐設計理念，即采樣錐(孔徑0.8~1.2mm)和截取錐(0.4~0.8mm)，并通過機械泵維持接口處的低真空(2~5mbar)。
典型ICP-MS的接口截面圖
一、采樣錐提取等離子體
兩個錐體通常采用鎳材質制成，但也可采用其他材質，如鉑材質，抗腐蝕能力更強。位于前端的錐通常稱為采樣錐，為減小高溫等離子體對錐體的影響，將其安裝在水冷平板上。
由于采樣錐在等離子體中逐漸腐蝕(工作一段時間后需更換)，同時在高鹽樣品(如海水)分析中，因樣品基體沉積，錐口逐漸堵塞(需清洗后才能繼續使用)，有必要研究其相關機理，以方便快速更換錐體而不影響腔體真空度。采樣錐后端為膨脹室，通過一級或二級機械泵(泵送能力為18~30m3·h-1)維持真空度在2~5mbar。
由于采樣錐前后端存在壓差，大量等離子體通過采樣錐進入膨脹室。氬氣ICP是弱電離等離子體，其中含有大量氬氣分子未電離。氣態原子、分子、離子及電子進入膨脹室，速度迅速增大，并以超聲速在幾微秒內膨脹，形成超聲噴射流( supersonic jet)。氣態粒子速度迅速增大，將熱能轉化成動能，使得氣體動力學溫度從初始溫度5000~7500K降至100~200K。此時，由于電子溫度仍保持在初始溫度，氣態粒子處于熱不平衡狀態，同時因電子密度迅速下降，可以防止離子-電子復合。研究表明，在采樣瞬間等離子體組分處于“凍結”狀態，稱為絕熱膨脹，使科學家在實踐中能對元素離子進行有效測量，是為ICP-MS分析測試之基礎。
二、截取過程
截取錐的作用是選擇來自采樣錐孔的膨脹射流的中心部分，并讓其通過截取錐進入下一級真空。典型孔徑大小為0.4~1.0mm，足以防止沉積及堵塞。
馬赫盤的位置影響截取錐的最佳安裝位置。研究表明，截取錐錐口位于距形成馬赫盤2/3處時為截取錐的最佳位置（即能提供最大信號強度處）。
三、空間分辨率、精度及穩定性
等離子體中，通過采樣錐的氣體粒子流與同軸的及周圍的部分氣體粒子相碰撞，因此通過采樣錐的粒子流，其空間分辨率很差。而在理想狀態下，通過采樣錐的粒子流，只有其中心組分通過截取錐。因此橫向分辨率的可能值與截取錐孔徑大小相當。假設二次放電現象不嚴重，則進入采樣錐的等離子體粒子流幾乎不受采樣錐的影響。