原子發射光譜法(Optical Emission Spectrometry,OES),是依據每種化學元素的原子或離子在熱激發下,發射特征的電磁輻射,而進行元素的定性與定量分析的方法。
原子發射光譜法是光學分析法中產生與發展最早的一種。早在1859年德國學者G.R.Kirchhoff(基爾霍夫)和R.WBunsen(本生)合作,制造了第一臺用于光譜分析的分光鏡,從而使光譜檢測法得以實現。以后的30年中逐漸確立了光譜定性分析方法。到1930年以后,建立了光譜定量分析法。
原子發射光譜法對科學的發展起過重要的作用。在建立屬于結構理論的過程中,提供了大量的、最直接的實驗數據。科學家們通過觀察和分析物質的發射光譜,逐漸認識了組成物質的原子結構。在元素周期表中,有不少元素是利用發射光譜發現或通過光譜法鑒定而被確認的。例如金屬中的銣、銫、鎵、銦、鉈;惰性氣體中的氦、氖、氬、気、氙及一部分稀土元素等。
在近代各種材料的定性定量分析中,原子發射光譜法發揮了重要作用。特別是新型光源的研制與電子技術的不斷更新和應用,使原子發射光譜分析獲得了新的發展,成為儀器分析中最重要的方法之一。