(1)對于固體樣品一般需預先轉化為溶液，而這二過程往往使檢出限變高。
(2)作氣體氬氣消耗量大導致儀器運行成本增加。
(3)進樣系統霧化效率不高導致部分元素在痕量時無法檢出。
(4)電感耦合等離子體發射光譜儀發射光譜法只能測定樣品中元素的總量，不能對元素進行價態分析，除非和其他分析儀器聯用。
(5)RF發生器電路較復雜，容易產生故障導致儀器停機，并且儀器價格比較高、對實驗室要求也高、需要單獨的電源和接地以及排風系統，所以前期投入比較大。
