中國實驗室用水國家標準GB6682-2000
| 名 稱 | 一 級 | 二 級 | 三 級 |
| PH值范圍（25℃） | - | - | 5.0-7.5 |
| 電導率（25℃）,mS/m ≤ | 0.01 | 0.10 | 0.50 |
| 比電阻（M Ω .cm.25℃）≥ | 10 | 1 | 0.2 |
| 可氧化物質[以（0）計]，mg/L | - | 0.08 | 0.40 |
| < 吸光度（ 254nm,1cm 光程）≤ | 0.001 | 0.01 | - |
| 蒸發殘渣（105±2℃），mg/L≤ | - | 1.0 | 2.0 |
| 可容性硅 [以（sio 2 ）計] ，mg/L < | 0.01 | 0.02 | - |
中國電子行業超純水國家標準GB/T1146.1-1997
級別指標 | EW-I | EW-II |
| 電阻率MΩ.cm（25℃） | 18以上（95%時間）不低于17 | 15（95%時間）不低于13 |
| 硅≤ μ g/l | 2 | 10 |
| > 1 μ M 微粒數≤個/ml | 0.1 | 5 |
| 細菌個數≤個/ml | 0.01 | 0.1 |
| 銅≤ μ g/l | 0.2 | 1 |
| 鋅≤ μ g/l | 0.2 | 1 |
| 鎳≤ μ g/l | 0.1 | 1 |
| 鈉≤ μ g/l | 0.5 | 2 |
| 鉀≤ μ g/l | 0.5 | 2 |
| 氯≤ μ g/l | 1 | 1 |
| 硝酸根≤ μ g/l | 1 | 1 |
| 磷酸根≤ μ g/l | 1 | 1 |
| 硫酸根≤ μ g/l | 1 | 1 |
| 總有機碳≤ μ g/l | 20 | 100 |
美國試藥級用水的標準規格
（美國臨床病理學會CAP，美國材料試驗學會ASTM，國家臨床檢驗學會NCCLS）
CAP | ASTM | NCCLS | |||||
Type I | Type II | Type III | Type I | Type II | Type III | Type I | |
比電阻 （ M Ω .cm.25 ℃） | ≥10 | 0.5 | 0.2 | ≥16.66 | 1.0 | 1.0 | ≥10 |
氧化硅（ mg/L.max） | 0.01 | 0.01 | 0.01 | - | - | - | 0.05 |
重金屬（ mg/L.max） | 0.01 | 0.01 | 0.01 | - | - | - | - |
高錳酸鉀試驗（分 .min） | 60 | 60 | 60 | 60 | 60 | 60 | - |
鈉 （mg/L.max） | 0.1 | 0.01 | 0.1 | - | - | - | - |
氨 （mg/L.max） | 0.1 | 0.01 | 0.1 | - | - | - | - |
微生物 | 微少 | 微少 | 微少 | - | - | - | 10 |
PH 值 | 6.0-7.0 | 6.0-7.0 | 6.0-7.0 | - | - | 6.2-7.5 | - |