高純水(high-purity water,ultra-high purity water)主要指水的溫度為25℃時,電導率小于0.1us/cm ,pH值為6.8-7.0及去除其他雜質和細菌的水,也指將水中的導電介質幾乎全部去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。高純水是化學純度極高的水,其中的雜質的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經達到99.999999%,其中雜質含量低于0.01mg/L。高純水的含鹽量在0.3mg/L以下,電導率小于0.2μs/cm。