制備
可由四氯硅烷或正硅酸乙酯與甲基碘化鎂反應來制取。也可由氯甲烷和硅粉,在銅催化劑存在下反應而制取。在高溫下反應然后仔細分餾制得。由于硅的電負性較低,對四個甲基上的氫原子影響較小,所以在核磁共振譜中能給出較強的信號和一個銳利的吸收峰,而其他一般有機化合物中的質子吸收峰都出現于它的左面。因此,在核磁共振譜中通常把TMS作為化學位移的內標,并把它的化學位移定為零。
保存
通常置于密封玻璃管內并貯存于冰箱中。儲存于陰涼、干燥、通風良好的庫房,遠離火種、熱源。庫溫不宜超過20℃。包裝必須密封,切勿受潮。應與氧化劑、酸類、堿類分開存放,切忌混儲。采用防爆型照明、通風設備。禁止使用易產生火花的機械設備和工具。儲區應備有泄漏應急處理設備和合適的收容材料。