| 儀器名稱： | 清洗系統 |
| 儀器編號： | 04009245 |
| 產地： | 臺灣 |
| 生產廠家： | 弘塑科技有限公司 |
| 型號： | RCAPre |
| 出廠日期： | 200312 |
| 購置日期： | 200410 |
| 所屬單位： | 物理系>納米中心>納米中心加工平臺 |
| 放置地點： | 納米樓超凈間 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 馬偉濤（010-62796022,13910326054,413113259@qq.com） 張曉麗（010-62796021,13693272562,99081318@163.com） 張立輝（010-62796022,13521214603,lhlh_zhang@163.com） |
| 分類標簽： | 05080122 微納加工 |
| 技術指標： | 配有四個溶液槽分別為：EKC、丙酮、IPA、DIW 工藝溫度：70度 溶液槽容量：6.5L、6.5L、4.2L、6.5L EKC、丙酮溶液槽配有機械臂 |
| 知名用戶： | 校內用戶：電子系、化學系、物理系、精儀系、微電子所等；校外用戶：北京大學、北京郵電大學、國家納米中心、中科院半導體所等。 |
| 技術團隊： | 屬于納米中心測試加工平臺，有完善的組織管理體系，有經驗豐富的儀器維護管理工程師和專業的實驗員，還有納米中心廠務部門支持儀器外部的水、電、氣。 |
| 功能特色： | 設備配有排風管道隨時抽走揮發性的溶液 設備自動化程度高可以控制溫度并且和能夠監控溫度 自動和手動控制每個溶液槽操作 細微調節水槽補水、放水、溢流時間 面板式按鈕操作，直觀易操作。 |
樣品要求：
樣品材料：半導體材料襯底
樣品尺寸：最大可清洗4英寸襯底