一、術語
1、聚焦平面尺寸測量示值誤差(Exy)
在平行于聚焦平面方向上的尺寸測量示值誤差。
注:
1）在本規范中，XY平面默認為平行于聚焦平面，若不然,則須作相應標注(例如Exz或Eyz)
2）若僅沿平行于X軸方向或僅沿平行于Y軸方向得到的示值誤差，可表示為Ex或Ey。
2、光軸方向尺寸測量示值誤差(Ez)
在平行于影像探測系統光軸方向上的尺寸測量示值誤差。
注:在本規范中，Z軸默認為平行于影像系統光軸，若不然,則須作相應標注(例如Ex或Ey)
3、影像探測系統尺寸測量示值誤差(Ev)
在影像測量儀運動平臺和影像探測系統不做任何移動的情況下，影像探測系統視場范圍內的尺寸測量示值誤差。
4、各截面測量結果一-致性(Es)
影像測量儀在沿光軸方向的不同截面上測量時，各截面坐標原點投影于XY平面的一致程度。
5、二維探測誤差(P2D)
用影像測量儀測定平面圓形實物標準器的半徑變化范圍。
6、影像測頭探測誤差(Py)
用影像測量儀測定影像探測系統視場范圍內平面圓形實物標準器的半徑變化范圍。
7、變倍探測誤差(Pz)
采用變倍影像探測系統的影像測量儀，測量同-一個圓形目標，不同倍率下目標圓心坐標的示值變化范圍。
二、校準項目
1、尺寸測量示值誤差
對沿光軸方向上具有測量功能的影像測量儀，應校準下列尺寸測量示值誤差：Exy、Ez、Ev。
注：
1）Ev只適用于在影像探測系統視場范圍內具備測量功能的影像測量儀。
2）對于工作臺不可移動的影像測量儀，只需校準Ev。
對沿光軸方向上具有定位功能的影像測量儀和只能在任何二維平面內作測量的影像測量儀，應校準下列尺寸測量示值誤差：Exy、Ev；
注:
1）Ev只適用于能在影像探測系統視場范圍內具備測量功能的影像測量儀。
2）對于工作臺不可移動的影像測量儀，只需校準Ev。
2、各截面測量結果一致性(Es)
3、探測誤差
3.1、二維探測誤差(P2D)
注:對于工作臺不可移動的影像測量儀無此要求。
3.2、影像測頭探測誤差(Py)
4、變倍探測誤差(Pz)
三、注意事項
當進行校準時，應嚴格按照制造商所提供的儀器使用說明書操作，以下方面應特別注意：
a）儀器啟動/預熱程序；
b）測量系統標定；
c）影像系統放大倍數；
d）照明條件。