影響凹面光柵分辨率檢測的因素要檢測一塊凹面光柵的分辨率，必須構建符合此光柵使用條件的檢測系統，而檢測系統的光源、狹縫和探測器以及其放置位置的精度不可避免地影響光柵檢測結果。因此為了得到真正的凹面光柵分辯率必須對這些影響因素加以科學的分析，并在檢測數據里，合理地加以去除。凹面光柵的分辨率是指以點或線單色光源入射時，在像面上按照瑞利準則可分辨的最小光譜范圍。在實際檢測中沒有這種光源，總是帶有一定的尺寸大小和光譜帶寬，因此應考慮它們對分辨率的影響。檢測系統的光源采用標準汞燈，檢測波段為200~1000nm。汞燈出光用光纖耦合，用聚光透鏡將光斑聚焦在狹縫中心上，以近似點光源發散球面波入射到凹面光柵表面。必須注意的是入射光經光柵衍射的特征譜線事實上有一定的帶寬；狹縫上的聚焦光點也有一定的尺寸大小；經過狹縫的入射球面波必須充滿整個光柵表面，才能正確檢測出光柵的光譜分辨本領 。
1、光源帶寬對分辨率檢測的影響
2、狹縫寬度對光柵分辨率檢測的影響
3、CCD探測器對光柵分辨率檢測的影響