高純氮氣發生器的制氮純度會受到以下因素的影響：
(1)氣體原料的質量
氣體是要經壓縮后進入空氣緩沖罐，那么壓縮空氣中如含有水汽、油霧，這些都會堵塞分子篩(CMS)的微孔，從而嚴重影響分離效果及CMS的使用壽命，因此，要想獲得高純度的氮氣，空氣至關重要，并且要經多次凈化過濾，濾芯需要定期檢查或者更換。
(2)吸附塔的工作時間
長時間的工作周期也即是閥門的切換時間間隔，有利于降低能耗，且節約空氣原料，不過純度也會因周期過長，分子篩會飽和而受到影響。
(3)分子篩的性能
分子篩是高純氮氣發生器的核心部件，它的性能好壞對于制得的氮氣純度有很大的關聯，同時我們還需要根據實際需要的氮氣流量和純度來計算出分子篩的合適裝填量。