在微波波段工作的晶體管。微波波段指頻率在300兆赫~300吉赫的電磁波譜。按功能分類,微波晶體管包括微波低噪聲晶體管和微波大功率晶體管。按結構分類,微波晶體管可分為雙極型晶體管和場效應晶體管。
由于工作頻率高,微波晶體管必須具有微米或亞微米的精細幾何尺寸。隨著薄層外延技術、淺結擴散或離子注入技術、投影曝光、遠紫外曝光、X射線曝光、電子束曝光等微細加工技術的發展,微波晶體管的工作頻率、功率和低噪聲性能已得到提高。