微波消解有密閉容器反應和微波加熱這兩個特點，決定了其完全、快速、低空白的優點，但不可避免地帶來了高壓（可能過壓的隱患）、消化樣品量小的不足。
高壓（最高可達100-150bar）、高溫（通常180-240℃）、強酸蒸氣給實驗者帶來了安全方面的心理壓力。現在的商品微波消解系統，一般都有測溫/測壓甚至控溫/控壓技術，因此在安全性上已經有了較大保證。
微波消解技術具有樣品分解快速、完全，揮發性元素損失小，試劑消耗少，操作簡單，處理效率高，污染小，空白低等顯著特點，深受分析工作者的歡迎，被譽為“綠色化學反應技術”。
1.儀器室與樣品準備室分開
2.試樣瓶的選用
酸性溶液或中性溶液保存在玻璃瓶中
Ag，Hg，Sn在玻璃瓶中更穩定 ·堿性溶液儲存在聚乙烯或聚四氟乙烯的瓶子中 HF一聚四氟乙烯
3.器皿清洗步驟
5％的鹽酸或者硝酸（難溶物質可選王水）浸泡一過夜
超聲波震蕩洗滌
去離子水沖洗風干
4.試劑和水的要求
水的要求：最好18MQ
試劑的要求：保證試劑（GR）/電子純 光譜純標準物質
分析特殊的檢測元素，如微量Na、Si、B等，對水與試劑要特殊特別注意
5.標準溶液的制備與匹配
用儲備標準溶液配制標準溶液系列時，應補加酸，使溶液維持一定的酸度，盡可能使其酸度與樣品溶液一致。配置多元素混合標準溶液時，應注意元素之間可能發生的化學反厘。
標準溶液濃度一般在厚g/mL級，通常用硝酸或鹽酸介質，當溶液的酸度在1％以上時，可持續使用較長時間。
ICP光譜分析中，必須重視標準溶液的配制：
1、不正確的配制方法，將導致系統偏差的產生；
2、介質和酸度不合適，會產生沉淀和渾濁，易堵塞化器并引起進樣量的波動；
3、元素分組不當，會引起元素間譜線互相干擾；
4、試劑和溶劑純度不夠，會引起空白值增加，檢測限變差和誤差增大