微波等離子體的優勢有哪些呢

微波等離子體是在大氣壓環境下產生的一種微等離子體，它被廣泛應用于氣相色譜中原子發射光譜激發源。微波帶技術的使用不僅可以將微波指向間隙區，同時也減少了不必要的外空間輻射損失，有利于耦合效率的提高，從而獲得高密度等離子體。

那么微波等離子體的優勢有哪些呢？

1.有較高的電離和分解程度； 

2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運載氣體保持合適的溫度。這個特性，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會過高；

3.能在高氣壓下維持等離子體；

4.沒有內部電極，在等離子容器內，沒有工作氣體以外的任何物質，是潔凈的，無污染源。等離子發生器可以保持長壽命；

5.等離子可以采用磁約束的方法，約束在約定的空間內，微波結和磁路可以兼容；

6.安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離，這是直流等離子體不能達到的。微波泄漏小，容易達到輻射安全標準。這是高頻感應等離子體難以達到的；

7.微波發生器是穩定的，易控的；

8.微波等離子體，在許多情況下是一種比較寧靜的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級。

Agilent 4200 微波等離子體原子發射光譜儀新一代成熟的微波等離子體原子發射光譜儀。低成本、安全性更好，具有更高的檢測靈敏度、檢測限低至亞 ppb 水平，速度超過火焰原子吸收，并且無需使用易燃性氣體。可對范圍更廣的樣品進行無人值守分析，而且使用革命性的空氣運行技術能實現較低的使用維護成本。