原子吸收光譜分析法（AAS）所使用的儀器為原子吸收光譜儀或原子吸收分光光度計。目前國內所見到的原子吸收光譜儀按照技術發展的水平，大致可分為兩代：
第一代：單火焰原子吸收光譜儀（日立的Z500、 沈分廠的WYX-9004、華洋的AA2610、博暉的BH5100系列、北京東西分析儀器有限公司早期的單火焰型等）
第二代：火焰原子吸收光譜儀+外置石墨爐（日立的Z180-80、瑞利的WFX120A 、博暉的BH2100系列、普析的TAS990等）。其設計目的是為了彌補火焰吸收光譜儀靈敏度不夠的缺陷，為了迎合國內早期客戶的升級改造的需求。