德國AndreasErdmann教授承擔的項目通過同行評議

德國Andreas Erdmann教授承擔的“中國科學院外國專家特聘研究員”項目通過同行評議

　　4月14日，中科院上海光學精密機械研究所中科院強激光材料重點實驗室組織專家對德國Fraunhofer IISB教授Andreas Erdmann承擔的“中國科學院外國專家特聘研究員”項目(編號：2010T1G13)進行了同行評議。

　　與會專家聽取了Andreas Erdmann教授的合作項目進展報告，一致認為：Andreas Erdmann教授在華工作期間，結合Dr.LiTHO這一先進光刻模擬軟件的引進，對二維結構光柵模擬計算和光刻系統仿真的相關工作起到了重要的推動作用。在Erdmann教授的指導下，實驗室在新型光柵結構設計上獲得突破性進展，設計了130nm帶寬效率高于98.5%的二維寬帶全介質膜光柵開展了不同類型結構缺陷的光柵模擬計算及其對光柵近場分布的影響分析。面向相關專業技術人員，Erdmann教授舉辦了光刻仿真技術高級培訓班，包含光刻技術、光刻物理機理和光刻模型模擬等主要內容。以上成果形成了3篇高質量的國際會議論文。

　　評議專家組認為該項目完成了研究內容，達到了預期目標，一致同意通過評議，雙方就以今后的合作已達成初步協議。