德祥：德國Thermconcept高溫爐半導體行業應用

——石英玻璃析晶性能試驗方法的最佳選擇

　　析晶性能試驗對于天然水晶或天然高純二氧化硅、硅鹵化物等半導體行業的原料是必不可少的性能測試，馬弗爐、中溫爐、高溫爐作為其檢測分析的行業標準推薦設備而必不可少。

　　半導體用透明石英玻璃管

　　《石英玻璃析晶性能試驗方法》

　　A3試驗設備

　　A3.1電熱干燥箱。

　　A3.2立式高溫二硅化鉬電爐。

　　A3.2.1電爐必須具有雙層爐膛，內爐膛為高純三氧化二鋁材料制成，爐內樣品上放有石英墊。

　　A3.2.2電爐溫度有P.I.D自動控制，精度為±1℃，24h內穩定在±2.5℃。爐溫均勻，梯度不大于±10℃。

　　A3.3測量顯微鏡：測量精度為5μm，放大倍數為100。

　　德國Thermconcept公司總部設在德國不萊梅, 擁有豐富的研發、設計和生產的各種馬弗爐和加熱爐系統的經驗，加熱爐的溫度范圍從50℃到2000℃，能夠滿足半導體行業絕大多數用戶的應用需求。

　　HTL系列高溫爐

　　·不銹鋼外殼，防腐蝕

　　·雙層箱式結構，外殼溫度低

　　·高品質加熱元件采用二硅化鉬材料

　　·爐體隔熱層由氧化鋁陶瓷纖維制成，低熱損失

　　·極佳的溫度均勻性

　　·快速升溫或降溫

　　·手動平行門，避免與高溫面接觸

　　·半導體控制器，控溫精度高

　　·采用長壽命B型熱電偶

　　·后墻連有排氣管

　　·配有Eurotherm 3208控制器：操作簡單，控溫精度高，1個完整升溫程序，包括8個可編程獨立升溫段。

　　HTK系列高溫爐

　　·內襯、底部和前部都采用不銹鋼材料, 耐腐蝕

　　·雙層箱體結構，具有強制冷卻功能，因而外殼溫度非常低

　　·內襯、底部和前部都采用不銹鋼材料

　　·排氣管采用氧化鋁材質(? 25/18 mm)

　　·采用特殊材料制成的絕緣內腔, 穩定性好,使用壽命長

　　·高品質加熱元件MoSi2, 安裝在內腔的兩側, 自由熱輻射, 每個加熱元件能夠單獨更換

　　·配有平行導向門, 容易裝載樣品, 且使操作者免受熱侵害

　　·B型熱電偶

　　·特殊的Labyrinth系統, 密封性極佳

　　·配有PID可編程程序控制器Eurotherm 3508, 可設定5個程序, 500個程序段, 5位字符顯示屏, 操作簡單, 控溫精度不超過+/- 2 K

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